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Micron Document

<!DOCTYPE html>

<title>Siliciumnitrid</title>

</head>

<h1 id="firstHeading" class="firstHeading mw-first-heading">Siliciumnitrid</h1>

</header>

</div>

<th colspan="2" style="background:#FFDEAD; color:#202122;">Allgemeines

</th></tr>

<tr>

<td style="width:33%;">Name

</td>

<td>Siliciumnitrid

</td></tr>

<tr>

<td>Andere Namen

</td>

<td>

<li>GPSSN</li>

<li>HIPSN</li>

</td></tr>

<tr>

<td><a href="Verh%C3%A4ltnisformel" title="Verhältnisformel">Verhältnisformel</a>

</td>

<td>Si3N4

</td></tr>

<tr>

<td>Kurzbeschreibung

</td>

<td>

schwach beigefarbener Feststoff<a href="#cite_note-sigma-1">[1]</a>

</td></tr>

<tr>

<th colspan="2" style="background:#FFDEAD; color:#202122;">Externe Identifikatoren/Datenbanken

</th></tr>

<tr>

<td style="width:33%;"><a href="CAS-Nummer" title="CAS-Nummer">CAS-Nummer</a>

</td>

</td>

</td></tr>

<tr>

<td><a href="EG-Nummer" title="EG-Nummer">EG-Nummer</a>

</td>

<td colspan="2">234-796-8

</td></tr>

<tr>

<td><a href="Europ%C3%A4ische_Chemikalienagentur" title="Europäische Chemikalienagentur">ECHA</a>-InfoCard

</td>

</td></tr>

<tr>

<td><a href="PubChem" title="PubChem">PubChem</a>

</td>

</td></tr>

<tr>

<td style="border-right:1px solid #a2a9b1;"><a href="Wikidata" title="Wikidata">Wikidata</a>

</td>

</td></tr></tbody></table>

</td></tr>

<tr>

<th colspan="2" style="background:#FFDEAD; color:#202122;">Eigenschaften

</th></tr>

<tr>

<td><a href="Molare_Masse" title="Molare Masse">Molare Masse</a>

</td>

<td>140,28 g·<a href="Mol" title="Mol">mol</a>−1

</td></tr>

<tr>

<td><a href="Aggregatzustand" title="Aggregatzustand">Aggregatzustand</a>

</td>

<td>

fest

</td></tr>

<tr>

<td><a href="Dichte" title="Dichte">Dichte</a>

</td>

<td>

3,44 g·cm−3<a href="#cite_note-sigma-1">[1]</a>

</td></tr>

<tr>

<td><a href="Sublimationspunkt" class="mw-redirect" title="Sublimationspunkt">Sublimationspunkt</a>

</td>

<td>

1900 <a href="Grad_Celsius" title="Grad Celsius">°C</a> (Sublimation)<a href="#cite_note-alfa-2">[2]</a>

</td></tr>

<tr>

<td><a href="L%C3%B6slichkeit" title="Löslichkeit">Löslichkeit</a>

</td>

<td>

nahezu unlöslich in Wasser<a href="#cite_note-alfa-2">[2]</a>

</td></tr>

<tr>

<th colspan="2" style="background:#FFDEAD; color:#202122;">Sicherheitshinweise

</th></tr>

<tr>

<td colspan="2" style="text-align:center"><a href="Global_harmonisiertes_System_zur_Einstufung_und_Kennzeichnung_von_Chemikalien" title="Global harmonisiertes System zur Einstufung und Kennzeichnung von Chemikalien">GHS-Gefahrstoffkennzeichnung</a><a href="#cite_note-sigma-1">[1]</a>

</td></tr></tbody></table>

Achtung

</td></tr>

<tr>

<td rowspan="2" width="33%" style="border-top:1px #A7A7A7 dashed; border-right:1px #A7A7A7 dashed;"><a href="H-_und_P-S%C3%A4tze" title="H- und P-Sätze">H- und P-Sätze</a>

</td>

</td></tr>

<tr>

<td style="border-top:1px #A7A7A7 dashed;">P: keine P-Sätze<a href="#cite_note-sigma-1">[1]</a>

</td></tr>

</tbody></table>

</td></tr>

<tr>

<td colspan="2" style="background:#FFDEAD; color:#202122; font-size:80%; text-align:center; line-height:150%; padding:.25em;">Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei <a href="Standardbedingungen" title="Standardbedingungen">Standardbedingungen</a> (0 °C, 1000 hPa).

</td></tr></tbody></table>

Siliciumnitrid (auch: Siliziumnitrid) ist eine <a href="Chemische_Verbindung" title="Chemische Verbindung">chemische Verbindung</a>, die als Bestandteil eines technischen Werkstoffs genutzt wird. Sie besteht aus den <a href="Chemisches_Element" title="Chemisches Element">Elementen</a> <a href="Silicium" title="Silicium">Silicium</a> und <a href="Stickstoff" title="Stickstoff">Stickstoff</a>, hat die Formel Si3N4 und gehört zur Stoffklasse der <a href="Nitride" title="Nitride">Nitride</a>.

<div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Vorkommen">Vorkommen</h2></div>

In der Natur ist Siliciumnitrid als seltenes <a href="Mineral" title="Mineral">Mineral</a> Nierit bekannt, das bisher ausschließlich in <a href="Meteorit" title="Meteorit">Meteoriten</a> gefunden wurde.<a href="#cite_note-IMA-Liste-2019-09-3">[3]</a><a href="#cite_note-Mindat-4">[4]</a>

<div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Herstellung">Herstellung</h2></div>

Die Basis der Siliciumnitridkeramik bilden hochwertige Si3N4-Pulver. Diese entstehen z. B. über die Reaktion von reinem Silicium mit Stickstoff bei 1000 bis 1400 °C. Das Silicium wird zuvor aus Quarzsand (SiO2) gewonnen, meist durch Reduktion im Lichtbogen bei 2000 °C.<a href="#cite_note-Linsmeier-5">[5]</a>

Das Si3N4-Pulver wird dann in einem Gasdrucksinterofen bei einem Stickstoff (N2)-Überdruck von ca. 2000 bar <a href="Isostasie" title="Isostasie">isostatisch</a> gesintert. Die hohen mechanischen Drücke sind im Herstellungsprozess dabei notwendig um die Restporosität nahezu vollständig zu beseitigen.<a href="#cite_note-Kollenberg-6">[6]</a>

Das qualitative Endprodukt ist kubisches Siliciumnitrid mit einer Dichte bis zu 3,9 g/cm3, nach den bereits bekannten α- und β-Si3N4-Phasen tri- und hexagonaler Siliciumnitridformen von ≈3,2 g/cm3.<a href="#cite_note-Dong2013-7">[7]</a>

Die Materialeigenschaften einer weiteren <a href="Orthorhombisches_Kristallsystem" title="Orthorhombisches Kristallsystem">orthorhombischen</a> δ-Si3N4-Phase des Siliciumnitrid existieren derzeit nur im Modell.<a href="#cite_note-Dong2013-7">[7]</a><a href="#cite_note-Gromov-8">[8]</a>

Eine relativ kostengünstige Variante ist niederdruckgesintertes Siliciumnitrid (SSN), das mittlere Biegefestigkeiten aufweist und aus dem sich großvolumige Bauteile, z. B. für die Metallurgie herstellen lassen. Das gasdruckgesinterte Siliciumnitrid (GPSSN) wird in einem Gasdrucksinterofen bei einem Stickstoff-Überdruck bis zu 100 bar gesintert. Dadurch entsteht ein leistungsfähiger Werkstoff für hohe mechanische Belastungen. Noch höhere Drücke bis zu 2.000 bar erfahren während des Sinterprozesses das heiß gepresste und das heiß isostatisch gepresste Siliciumnitrid (HPSN bzw. HIPSN). HPSN und HIPSN zeichnen sich durch noch höhere Festigkeiten im Vergleich zu GPSSN aus, da die hohen mechanischen Drücke im Herstellungsprozess die Restporosität nahezu vollständig beseitigen. Nachteilig sind die eingeschränkten Geometrien beim axial gepressten HPSN (mechanischer Pressstempel) sowie sehr hohe Prozesskosten beim HIPSN. Reaktionsgebundenes Siliciumnitrid (RBSN) wird nach einem völlig anderen Herstellungsprozess gefertigt. Hier wird alternativ zum hochpreisigen Si3N4-Pulver das vergleichsweise preiswerte Silicium-Pulver als Rohstoff verwendet, geformt und in Stickstoff-Atmosphäre bei Temperaturen von ca. 1.400 °C zu Si3N4 nitridiert, und zwar schwindungsfrei. Die resultierende Keramik weist gute mechanische Kennwerte auf, ist aber durch ihre sehr feine und offene Porosität hochtemperaturoxidationsempfindlich.<a href="#cite_note-keramverband.de-9">[9]</a>

<div class="mw-heading mw-heading3"><h3 id="Synthese">Synthese</h3></div>

<ul><li>Direkte Nitridierung mittels <a href="Reaktionsbinden" title="Reaktionsbinden">Reaktionsbinden</a>:

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

</mrow>

</mstyle>

</mrow>

<annotation encoding="application/x-tex">{\displaystyle \mathrm {3\ Si+2\ N_{2}\longrightarrow \ Si_{3}N_{4}} }</annotation>

</semantics>

</math><img src="./_assets_/eb734a37dd21ce173a46342d1cc64c92/882d867c97f0d1b33b25ed9246dd9bbc7258a8bc.svg" class="mwe-math-fallback-image-inline mw-invert skin-invert" aria-hidden="true" style="vertical-align: -0.671ex; width:22.531ex; height:2.509ex;" alt="{\displaystyle \mathrm {3\ Si+2\ N_{2}\longrightarrow \ Si_{3}N_{4}} }" loading="lazy"></dd></dl></li></ul>

<ul><li>Carbothermische Nitridierung:

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

</mrow>

</mstyle>

</mrow>

<annotation encoding="application/x-tex">{\displaystyle \mathrm {3\ SiO_{2}+6\ C+2\ N_{2}\longrightarrow \ Si_{3}N_{4}+6\ CO} }</annotation>

</semantics>

</math><img src="./_assets_/eb734a37dd21ce173a46342d1cc64c92/9325672a0be833f02ec1825a434f4aff2c9ecc80.svg" class="mwe-math-fallback-image-inline mw-invert skin-invert" aria-hidden="true" style="vertical-align: -0.671ex; width:39.724ex; height:2.509ex;" alt="{\displaystyle \mathrm {3\ SiO_{2}+6\ C+2\ N_{2}\longrightarrow \ Si_{3}N_{4}+6\ CO} }" loading="lazy"></dd></dl></li></ul>

<ul><li><a href="Diimid" class="mw-redirect" title="Diimid">Diimid</a>-Synthese:

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

</mrow>

</mstyle>

</mrow>

<annotation encoding="application/x-tex">{\displaystyle \mathrm {SiCl_{4}+6\ NH_{3}\longrightarrow \ Si(NH)_{2}+4\ NH_{4}Cl} }</annotation>

</semantics>

</math><img src="./_assets_/eb734a37dd21ce173a46342d1cc64c92/d1b0d9eb3275f2961cc9d4ff2252996e32134091.svg" class="mwe-math-fallback-image-inline mw-invert skin-invert" aria-hidden="true" style="vertical-align: -0.838ex; width:39.857ex; height:2.843ex;" alt="{\displaystyle \mathrm {SiCl_{4}+6\ NH_{3}\longrightarrow \ Si(NH)_{2}+4\ NH_{4}Cl} }" loading="lazy"></dd>

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

</mrow>

</mstyle>

</mrow>

<annotation encoding="application/x-tex">{\displaystyle \mathrm {3\ Si(NH)_{2}\longrightarrow \ Si_{3}N_{4}+2\ NH_{3}} }</annotation>

</semantics>

</math><img src="./_assets_/eb734a37dd21ce173a46342d1cc64c92/780ba40250ad83f2bcae20f569aa07899534a219.svg" class="mwe-math-fallback-image-inline mw-invert skin-invert" aria-hidden="true" style="vertical-align: -0.838ex; width:30.624ex; height:2.843ex;" alt="{\displaystyle \mathrm {3\ Si(NH)_{2}\longrightarrow \ Si_{3}N_{4}+2\ NH_{3}} }" loading="lazy"></dd></dl></li></ul>

<ul><li><a href="Chemische_Gasphasenabscheidung" title="Chemische Gasphasenabscheidung">Chemische Gasphasenabscheidung</a> (LPCVD bzw. PECVD) in der Mikrotechnik:

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

<msub>

</mrow>

</msub>

</mrow>

</mstyle>

</mrow>

<annotation encoding="application/x-tex">{\displaystyle \mathrm {3\ SiH_{4}+4\ NH_{3}\longrightarrow \ Si_{3}N_{4}+12\ H_{2}} }</annotation>

</semantics>

</math><img src="./_assets_/eb734a37dd21ce173a46342d1cc64c92/1d86e86d70163978435057e3e87b2816e0f7bc06.svg" class="mwe-math-fallback-image-inline mw-invert skin-invert" aria-hidden="true" style="vertical-align: -0.671ex; width:35.615ex; height:2.509ex;" alt="{\displaystyle \mathrm {3\ SiH_{4}+4\ NH_{3}\longrightarrow \ Si_{3}N_{4}+12\ H_{2}} }" loading="lazy"></dd></dl></li></ul>

<div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Eigenschaften">Eigenschaften</h2></div>

Siliciumnitrid tritt in drei <a href="Polymorphie_(Stoffeigenschaft)" title="Polymorphie (Stoffeigenschaft)">Modifikationen</a> (α-Si3N4, β-Si3N4 und γ-Si3N4) auf, die sich in ihrer <a href="Kristallstruktur" title="Kristallstruktur">Kristallstruktur</a> unterscheiden.

<li class="gallerycaption">Stickstoffatome sind blau, Siliciumatome grau dargestellt</li>

<div class="gallerytext"><a href="Trigonal" class="mw-redirect" title="Trigonal">trigonal</a> α-Si3N4</div>

</li>

<div class="gallerytext"><a href="Hexagonal" class="mw-redirect" title="Hexagonal">hexagonal</a> β-Si3N4</div>

</li>

<div class="gallerytext"><a href="Kubisches_Kristallsystem" title="Kubisches Kristallsystem">kubisch</a> γ-Si3N4</div>

</li>

</ul>

Technisches Siliciumnitrid ist eine Nichtoxid-<a href="Keramik" title="Keramik">Keramik</a>, die in der Regel aus β-Siliciumnitridkristallen in einer glasig erstarrten Matrix besteht. Der Glasphasenanteil reduziert die Härte von Siliciumnitrid im Vergleich zu <a href="Siliciumcarbid" title="Siliciumcarbid">Siliciumcarbid</a>, ermöglicht aber die stängelige Umkristallisation der β-Siliciumnitridkristalle während des <a href="Sintern" title="Sintern">Sintervorgangs</a>, was eine im Vergleich zu Siliciumcarbid und <a href="Borcarbid" title="Borcarbid">Borcarbid</a> deutlich erhöhte Bruchzähigkeit bewirkt.

<div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Verwendung">Verwendung</h2></div>

Die hohe Bruchzähigkeit in Kombination mit kleinen Defektgrößen verleiht Siliciumnitrid eine der höchsten Festigkeiten unter den ingenieurkeramischen Werkstoffen. Durch die Kombination von hoher Festigkeit, niedrigem <a href="W%C3%A4rmeausdehnungskoeffizient" class="mw-redirect" title="Wärmeausdehnungskoeffizient">Wärmeausdehnungskoeffizienten</a> und relativ großem <a href="Elastizit%C3%A4tsmodul" title="Elastizitätsmodul">Elastizitätsmodul</a> eignet sich Si3N4-Keramik besonders für thermoschockbeanspruchte Bauteile, und wird zum Beispiel als <a href="Wendeschneidplatte" title="Wendeschneidplatte">Wendeschneidplatte</a> für Eisengusswerkstoffe (unter anderem im unterbrochenen Schnitt) oder zur Handhabung von <a href="Aluminium" title="Aluminium">Aluminiumschmelzen</a> eingesetzt.<a href="#cite_note-ikts.fraunhofer.de-10">[10]</a><a href="#cite_note-google.com-11">[11]</a> Siliciumnitridkeramiken sind bei geeigneter Wahl eines Zusatzstoffes (zum Beispiel durch den Zusatz von <a href="Yttriumoxid" title="Yttriumoxid">Yttriumoxid</a>, Aluminiumoxid- oder Magnesiumoxid-Zusätzen) der in der Flüssigphase die Hohlräume ausfüllt, für Einsatztemperaturen bis über 1200 °C geeignet.<a href="#cite_note-Metallografie-12">[12]</a> Als Werkstoff in Motoren hat sich Siliciumnitrid trotz hoher Anstrengungen in Forschung und Entwicklung in den letzten Jahrzehnten aus Kostengründen bisher nicht durchsetzen können. Siliciumnitrid wird außerdem als Sonderwerkstoff in der Lagertechnik für Hybridlager (Wälzkörper aus Si3N4) und Vollkeramiklager (Wälzkörper und Laufringe aus Si3N4) eingesetzt.<a href="#cite_note-Silicatkeramik-13">[13]</a>

Eine besondere Anwendung sind Messspitzen (<a href="Cantilever_(Mikroskop)" title="Cantilever (Mikroskop)">Cantilever</a>), mit denen bei <a href="Rasterkraftmikroskop" title="Rasterkraftmikroskop">Rasterkraftmikroskopen</a> Proben bis in den atomaren Bereich aufgelöst werden.<a href="#cite_note-14">[14]</a> Sie sind aus Silicium<a href="Wafer" title="Wafer">wafern</a> hergestellt und an ihrer Oberfläche durch eine Siliciumnitridschicht besonders widerstandsfähig gegen mechanischen Verschleiß gemacht.

<div class="mw-heading mw-heading3"><h3 id="Halbleitertechnik">Halbleitertechnik</h3></div>

In der <a href="Halbleitertechnologie" class="mw-redirect" title="Halbleitertechnologie">Halbleitertechnik</a> wird Siliciumnitrid als Isolations- oder Passivierungsmaterial bei der Herstellung <a href="Integrierte_Schaltung" class="mw-redirect" title="Integrierte Schaltung">integrierter Schaltungen</a> verwendet, in <a href="Charge-Trapping-Speicher" title="Charge-Trapping-Speicher">Charge-Trapping-Speichern</a> dient der Nichtleiter als Speicherschicht für gebundene elektrische Ladungen.<a href="#cite_note-Harry_J.M._Veendrick-15">[15]</a> Darüber hinaus wird es in vielen Prozessen als Maskierungs- und Stopmaterial genutzt, beispielsweise in der lokalen Oxidation von Silicium (<a href="LOCOS-Prozess" title="LOCOS-Prozess">LOCOS-Prozess</a>) oder der <a href="Chemisch-mechanische_Politur" class="mw-redirect" title="Chemisch-mechanische Politur">chemisch-mechanischen Politur</a>. Der Vorteil ist hier ein abweichendes chemisches Verhalten etwa gegenüber Ätzmitteln im Vergleich zum Standardmaterial <a href="Siliciumdioxid" title="Siliciumdioxid">Siliciumdioxid</a>, das heißt, man nutzt Ätzmittel, die zwar Siliciumdioxid aber nicht Siliciumnitrid angreifen, oder umgekehrt. So wird Siliciumnitrid für gewöhnlich nasschemisch mit heißer 85-prozentiger <a href="Phosphors%C3%A4ure" title="Phosphorsäure">Phosphorsäure</a> geätzt.<a href="#cite_note-Joachim_Knoch-16">[16]</a> Des Weiteren wird Siliciumnitrid in der Photovoltaik als <a href="Antireflexionsschicht" class="mw-redirect" title="Antireflexionsschicht">Antireflex-</a> und <a href="Passivierung" title="Passivierung">Passivierungsschicht</a> eingesetzt. Durch geringere Reflexionsverluste wird der Wirkungsgrad der Solarzellen bzw. -module gesteigert.<a href="#cite_note-17">[17]</a>

Die Abscheidung von Siliciumnitridschichten erfolgt im Wesentlichen mittels zweier Methoden der <a href="Chemische_Gasphasenabscheidung" title="Chemische Gasphasenabscheidung">chemischen Gasphasenabscheidung</a> (CVD): die Niederdruck-CVD (<a href="LPCVD" class="mw-redirect" title="LPCVD">LPCVD</a>) und die <a href="Plasmaunterst%C3%BCtzte_chemische_Gasphasenabscheidung" title="Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung">plasmaunterstützte CVD</a> (PECVD). Die Eigenschaften dieser Schichten sind meist nicht identisch mit denen von „keramischen Siliciumnitrid“, so weisen sie in der Regel eine geringere Härte auf.

Zusätzlich kann es je nach Abscheidemethode zu Verspannungen der aufgebrachten Siliciumnitridschicht kommen, u. a. da die Gitterabstände und Temperaturkoeffizienten von Silicium und Siliciumnitrid abweichen. Insbesondere bei Nutzung der PECVD-Technik kann durch Einstellung der Prozessparameter so eine Verspannung minimiert werden.<a href="#cite_note-Crystec-18">[18]</a>

<div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Weblinks">Weblinks</h2></div>

<ul><li><a rel="nofollow" class="external text" href="http://www.keramverband.de/brevier_dt/3/4/3/3_4_3_2.htm">Brevier Technische Keramik – Nitride.</a> In: keramverband.de. 4. Juni 2018, abgerufen am 1. Oktober 2019.<span style="display: none;" class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adc&rfr_id=info%3Asid%2Fde.wikipedia.org%3ASiliciumnitrid&rft.title=Brevier+Technische+Keramik+%E2%80%93+Nitride&rft.description=Brevier+Technische+Keramik+%E2%80%93+Nitride&rft.identifier=http%3A%2F%2Fwww.keramverband.de%2Fbrevier_dt%2F3%2F4%2F3%2F3_4_3_2.htm&rft.date=2018-06-04"> </li>

<li><a rel="nofollow" class="external text" href="http://technical-ceramics.3mdeutschland.de/de/werkstoffe/3m-silicon-nitride.html">Eigenschaften von Siliciumnitrid (Si3N4).</a> In: technical-ceramics.3mdeutschland.de. <a href="3M_Technical_Ceramics" title="3M Technical Ceramics">3M Technical Ceramics</a>, abgerufen am 1. Oktober 2019.<span style="display: none;" class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adc&rfr_id=info%3Asid%2Fde.wikipedia.org%3ASiliciumnitrid&rft.title=Eigenschaften+von+Siliciumnitrid+%28Si%3Csub%3E3%3C%2Fsub%3EN%3Csub%3E4%3C%2Fsub%3E%29&rft.description=Eigenschaften+von+Siliciumnitrid+%28Si%3Csub%3E3%3C%2Fsub%3EN%3Csub%3E4%3C%2Fsub%3E%29&rft.identifier=http%3A%2F%2Ftechnical-ceramics.3mdeutschland.de%2Fde%2Fwerkstoffe%2F3m-silicon-nitride.html&rft.publisher=%5B%5B3M+Technical+Ceramics%5D%5D"> </li></ul>

<div class="mw-heading mw-heading2"><h2 id="Einzelnachweise">Einzelnachweise</h2></div>

Datenblatt <a rel="nofollow" class="external text" href="https://www.sigmaaldrich.com/catalog/product/SIGMA/S1023">Silicon nitride</a> bei <a href="Sigma-Aldrich" title="Sigma-Aldrich">Sigma-Aldrich</a>, abgerufen am 22. Mai 2021 (<a rel="nofollow" class="external text" href="https://www.sigmaaldrich.com/DE/de/sds/SIGMA/S1023?userType=anonymous">PDF</a>).

</li>

Datenblatt <a rel="nofollow" class="external text" href="https://www.alfa.com/de/catalog/40379">Siliciumnitrid</a> bei <a href="Alfa_Aesar" title="Alfa Aesar">Alfa Aesar</a>, abgerufen am 22. Mai 2021 (Seite nicht mehr abrufbar).

</li>

<li id="cite_note-IMA-Liste-2019-09-3"><a href="#cite_ref-IMA-Liste-2019-09_3-0">↑</a> Malcolm Back, William D. Birch, Michel Blondieau und andere: <a rel="nofollow" class="external text" href="https://web.archive.org/web/20190920212433/http://cnmnc.main.jp/IMA_Master_List_(2019-09).pdf">The New IMA List of Minerals – A Work in Progress – Updated: September 2019.</a> (PDF 2672 kB) In: cnmnc.main.jp. IMA/CNMNC, Marco Pasero, September 2019, archiviert vom <style data-mw-deduplicate="TemplateStyles:r250917974">

/* start https://de.wikipedia.org/ */

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</style><a class="external text" href="https://redirecter.toolforge.org/?url=http%3A%2F%2Fcnmnc.main.jp%2FIMA_Master_List_%25282019-09%2529.pdf">Original</a> (nicht mehr online verfügbar) am 20. September 2019; abgerufen am 1. Oktober 2019 (englisch).<span style="display: none;" class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adc&rfr_id=info%3Asid%2Fde.wikipedia.org%3ASiliciumnitrid&rft.title=The+New+IMA+List+of+Minerals+%E2%80%93+A+Work+in+Progress+%E2%80%93+Updated%3A+September+2019&rft.description=The+New+IMA+List+of+Minerals+%E2%80%93+A+Work+in+Progress+%E2%80%93+Updated%3A+September+2019&rft.identifier=https%3A%2F%2Fweb.archive.org%2Fweb%2F20190920212433%2Fhttp%3A%2F%2Fcnmnc.main.jp%2FIMA_Master_List_%282019-09%29.pdf&rft.creator=Malcolm+Back%2C+William+D.+Birch%2C+Michel+Blondieau+und+andere&rft.publisher=IMA%2FCNMNC%2C+Marco+Pasero&rft.date=2019-09&rft.source=http://cnmnc.main.jp/IMA_Master_List_%282019-09%29.pdf&rft.language=en">

</li>

<a rel="nofollow" class="external text" href="https://www.mindat.org/min-7193.html#autoanchor14">Localities for Nierite.</a> In: mindat.org. Hudson Institute of Mineralogy, abgerufen am 1. Oktober 2019 (englisch).<span style="display: none;" class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adc&rfr_id=info%3Asid%2Fde.wikipedia.org%3ASiliciumnitrid&rft.title=Localities+for+Nierite&rft.description=Localities+for+Nierite&rft.identifier=https%3A%2F%2Fwww.mindat.org%2Fmin-7193.html%23autoanchor14&rft.publisher=Hudson+Institute+of+Mineralogy&rft.language=en">

</li>

Klaus-Dieter Linsmeier: <cite style="font-style:italic">Handbuch Technische Keramik</cite>. 2., überarbeitete und erweiterte Auflage. Süddeutscher Verlag onpact, München 2010, ISBN 3-937889-97-3, S. 16 (<a rel="nofollow" class="external text" href="https://de.slideshare.net/MelanieGl/ca-handbuch-technischekeramik">de.slideshare.net</a> [abgerufen am 1. Oktober 2019]).<span class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Abook&rfr_id=info:sid/de.wikipedia.org:Siliciumnitrid&rft.au=Klaus-Dieter+Linsmeier&rft.btitle=Handbuch+Technische+Keramik&rft.date=2010&rft.edition=2.%2C+%C3%BCberarbeitete+und+erweiterte&rft.genre=book&rft.isbn=3937889973&rft.pages=16&rft.place=M%C3%BCnchen&rft.pub=S%C3%BCddeutscher+Verlag+onpact" style="display:none">

</li>

Wolfgang Kollenberg: <cite style="font-style:italic">Technische Keramik: Grundlagen-Werkstoffe-Verfahrenstechnik</cite>. Vulkan, Essen 2004, ISBN 3-8027-2927-7.<span class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Abook&rfr_id=info:sid/de.wikipedia.org:Siliciumnitrid&rft.au=Wolfgang+Kollenberg&rft.btitle=Technische+Keramik%3A+Grundlagen-Werkstoffe-Verfahrenstechnik&rft.date=2004&rft.genre=book&rft.isbn=3802729277&rft.place=Essen&rft.pub=Vulkan" style="display:none">

</li>

Chen Dong: <cite style="font-style:italic">Investigations of high-pressure and high-temperature behaviors of the newly-discovered willemite-II and post-phenacite silicon nitrides</cite>. In: <cite style="font-style:italic">Chinese Physics B</cite>. Band 22, Nr. 12, Dezember 2013, S. 1–6, <a href="Digital_Object_Identifier" title="Digital Object Identifier">doi</a>:<a rel="nofollow" class="external text" href="https://doi.org/10.1088/1674-1056%2F22%2F12%2F126301">10.1088/1674-1056/22/12/126301</a> (<a rel="nofollow" class="external text" href="https://cpb.iphy.ac.cn/fileup/PDF/2013-12-126301.pdf">cpb.iphy.ac.cn</a> [PDF; 307 kB; abgerufen am 1. Oktober 2019]).<span class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Ajournal&rfr_id=info:sid/de.wikipedia.org:Siliciumnitrid&rft.atitle=Investigations+of+high-pressure+and+high-temperature+behaviors+of+the+newly-discovered+willemite-II+and+post-phenacite+silicon+nitrides&rft.au=Chen+Dong&rft.date=2013-12&rft.doi=10.1088%2F1674-1056%2F22%2F12%2F126301&rft.genre=journal&rft.issue=12&rft.jtitle=Chinese+Physics+B&rft.pages=1-6&rft.volume=22" style="display:none">

</li>

Alexander A. Gromov, Liudmila N. Chukhlomina: <cite class="lang" lang="en" dir="auto" style="font-style:italic">Nitride Ceramics</cite>. Wiley-VCH, Weinheim 2015, ISBN 978-3-527-33755-2, S. 196 (englisch, <a rel="nofollow" class="external text" href="https://books.google.de/books?id=_0YJBgAAQBAJ&pg=PA196#v=onepage">eingeschränkte Vorschau</a> in der Google-Buchsuche).<span class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Abook&rfr_id=info:sid/de.wikipedia.org:Siliciumnitrid&rft.au=Alexander+A.+Gromov%2C+Liudmila+N.+Chukhlomina&rft.btitle=Nitride+Ceramics&rft.date=2015&rft.genre=book&rft.isbn=9783527337552&rft.pages=196&rft.place=Weinheim&rft.pub=Wiley-VCH" style="display:none">

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<li id="cite_note-keramverband.de-9"><a href="#cite_ref-keramverband.de_9-0">↑</a> Brevier Technische Keramik: <a rel="nofollow" class="external text" href="http://www.keramverband.de/brevier_dt/3/4/3/3_4_3_2.htm">Brevier Technische Keramik</a>, abgerufen am 8. September 2022

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<li id="cite_note-ikts.fraunhofer.de-10"><a href="#cite_ref-ikts.fraunhofer.de_10-0">↑</a> Fraunhofer IKTS: <a rel="nofollow" class="external text" href="https://www.ikts.fraunhofer.de/de/abteilungen/strukturkeramik/nichtoxidkeramik/nitrid_elektrisch_funktionelle_strukturkeramik/siliciumnitrid_si3n4_sialone.html">Siliciumnitrid (Si3N4) und Sialone - Fraunhofer IKTS</a>, abgerufen am 8. September 2022

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<li id="cite_note-google.com-11"><a href="#cite_ref-google.com_11-0">↑</a> Patent <a rel="nofollow" class="external text" href="https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?locale=de_EP&CC=EP&NR=2982462A2">EP2982462A2</a>: Nitridgebundenes Siliziumnitrid Als Werkstoff Für Bauteile Der Aluminium-Giesserei. Veröffentlicht am 10. Februar 2016, Erfinder: Rolf Wagner.<span class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Apatent&rft_id=EP2982462A2&rft.applcc=EP&rft.title=Nitridgebundenes+Siliziumnitrid+Als+Werkstoff+F%C3%BCr+Bauteile+Der+Aluminium-Giesserei&rft.inventor=Rolf+Wagner&rft.pubdate=2016-02-10">‌

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<li id="cite_note-Metallografie-12"><a href="#cite_ref-Metallografie_12-0">↑</a> Heinrich Oettel, Hermann Schumann: <cite style="font-style:italic">Metallografie: mit einer Einführung in die Keramografie</cite>. John Wiley & Sons, 2011, ISBN 978-3-527-32257-2, S. 886 (<a rel="nofollow" class="external text" href="https://books.google.de/books?id=FukdUcgDRUcC&pg=PA886#v=onepage">eingeschränkte Vorschau</a> in der Google-Buchsuche).<span class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Abook&rfr_id=info:sid/de.wikipedia.org:Siliciumnitrid&rft.au=Heinrich+Oettel%2C+Hermann+Schumann&rft.btitle=Metallografie%3A+mit+einer+Einf%C3%BChrung+in+die+Keramografie&rft.date=2011&rft.genre=book&rft.isbn=9783527322572&rft.pages=886&rft.pub=John+Wiley+%26+Sons" style="display:none">

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<li id="cite_note-Silicatkeramik-13"><a href="#cite_ref-Silicatkeramik_13-0">↑</a> Hermann Salmang, Horst Scholze, Rainer Telle: <cite style="font-style:italic">Silicatkeramik, Feuerfeste Werkstoffe, Hochleistungskeramik und keramische Verbundwerkstoffe</cite>. Walter de Gruyter GmbH & Co KG, 2022, ISBN 978-3-11-074241-1, S. 268 (<a rel="nofollow" class="external text" href="https://books.google.de/books?id=TLB7EAAAQBAJ&pg=PA268#v=onepage">eingeschränkte Vorschau</a> in der Google-Buchsuche).<span class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Abook&rfr_id=info:sid/de.wikipedia.org:Siliciumnitrid&rft.au=Hermann+Salmang%2C+Horst+Scholze%2C+Rainer+Telle&rft.btitle=Silicatkeramik%2C+Feuerfeste+Werkstoffe%2C+Hochleistungskeramik+und+keramische+Verbundwerkstoffe&rft.date=2022&rft.genre=book&rft.isbn=9783110742411&rft.pages=268&rft.pub=Walter+de+Gruyter+GmbH+%26+Co+KG" style="display:none">

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<li id="cite_note-14"><a href="#cite_ref-14">↑</a> Matthias Müller: <cite style="font-style:italic">Kraftmodulationsmikroskopie: Detektionsverhalten - Kontrastmechanismus - Anwendungen</cite>. Cuvillier Verlag, 2005, ISBN 978-3-86537-341-0 (<a rel="nofollow" class="external text" href="https://books.google.de/books?id=FTZk5VPI_xgC">eingeschränkte Vorschau</a> in der Google-Buchsuche).<span class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Abook&rfr_id=info:sid/de.wikipedia.org:Siliciumnitrid&rft.au=Matthias+M%C3%BCller&rft.btitle=Kraftmodulationsmikroskopie%3A+Detektionsverhalten+-+Kontrastmechanismus+-+Anwendungen&rft.date=2005&rft.genre=book&rft.isbn=9783865373410&rft.pub=Cuvillier+Verlag" style="display:none">

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<li id="cite_note-Harry_J.M._Veendrick-15"><a href="#cite_ref-Harry_J.M._Veendrick_15-0">↑</a> Harry J.M. Veendrick: <cite style="font-style:italic">Nanometer CMOS ICs</cite>. Springer International Publishing, 2017, ISBN 978-3-319-47597-4, S. 293 (<a rel="nofollow" class="external text" href="https://books.google.de/books?id=Lv_EDgAAQBAJ&pg=PA293#v=onepage">eingeschränkte Vorschau</a> in der Google-Buchsuche).<span class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Abook&rfr_id=info:sid/de.wikipedia.org:Siliciumnitrid&rft.au=Harry+J.M.+Veendrick&rft.btitle=Nanometer+CMOS+ICs&rft.date=2017&rft.genre=book&rft.isbn=9783319475974&rft.pages=293&rft.pub=Springer+International+Publishing" style="display:none">

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<li id="cite_note-Joachim_Knoch-16"><a href="#cite_ref-Joachim_Knoch_16-0">↑</a> Joachim Knoch: <cite style="font-style:italic">Nanoelectronics</cite>. De Gruyter, 2020, ISBN 978-3-11-057555-2, S. 2 (<a rel="nofollow" class="external text" href="https://books.google.de/books?id=H3cGEAAAQBAJ&pg=PA2#v=onepage">eingeschränkte Vorschau</a> in der Google-Buchsuche).<span class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Abook&rfr_id=info:sid/de.wikipedia.org:Siliciumnitrid&rft.au=Joachim+Knoch&rft.btitle=Nanoelectronics&rft.date=2020&rft.genre=book&rft.isbn=9783110575552&rft.pages=2&rft.pub=De+Gruyter" style="display:none">

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<li id="cite_note-17"><a href="#cite_ref-17">↑</a> Martin Bertau, Armin Müller, Peter Fröhlich, Michael Katzberg, Karl Heinz Büchel, Hans-Heinrich Moretto, Dietmar Werner: <cite style="font-style:italic">Industrielle Anorganische Chemie</cite>. John Wiley & Sons, 2013, ISBN 978-3-527-64958-7 (<a rel="nofollow" class="external text" href="https://books.google.de/books?id=XZR4AAAAQBAJ&pg=PAPT396&q=Siliciumnitrid+solarzellen#v=onepage">eingeschränkte Vorschau</a> in der Google-Buchsuche).<span class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Abook&rfr_id=info:sid/de.wikipedia.org:Siliciumnitrid&rft.au=Martin+Bertau%2C+Armin+M%C3%BCller%2C+Peter+Fr%C3%B6hlich%2C+...&rft.btitle=Industrielle+Anorganische+Chemie&rft.date=2013&rft.genre=book&rft.isbn=9783527649587&rft.pub=John+Wiley+%26+Sons" style="display:none">

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<a rel="nofollow" class="external text" href="https://www.crystec.com/kllnitrd.htm">Abscheidung von Siliciumnitrid-Schichten Si3N4.</a> In: crystec.com. Crystec Technology Trading GmbH, 18. Dezember 2018, abgerufen am 1. Oktober 2019.<span style="display: none;" class="Z3988" title="ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info%3Aofi%2Ffmt%3Akev%3Amtx%3Adc&rfr_id=info%3Asid%2Fde.wikipedia.org%3ASiliciumnitrid&rft.title=Abscheidung+von+Siliciumnitrid-Schichten+Si%3Csub%3E3%3C%2Fsub%3EN%3Csub%3E4%3C%2Fsub%3E&rft.description=Abscheidung+von+Siliciumnitrid-Schichten+Si%3Csub%3E3%3C%2Fsub%3EN%3Csub%3E4%3C%2Fsub%3E&rft.identifier=https%3A%2F%2Fwww.crystec.com%2Fkllnitrd.htm&rft.publisher=Crystec+Technology+Trading+GmbH&rft.date=2018-12-18">

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